MS2C Microsystèmes Capteurs Chimiques

Alain PAULY
Tél. : 33 (0)4 73 40 72 60
alain.pauly@univ-bpclermont.fr

Savoir-faire

Elaboration de structures filtrantes et/ou sensibles à base de matériaux organiques et/ou inorganiques.
Caractérisation des mécanismes réactionnels aux interfaces gaz/matériaux.
Conception de micro-capteurs et de microsystèmes dédiés à la surveillance des polluants gazeux.

Objectifs :

  • Métrologie d’espèces chimiques, plus particulièrement sous forme gazeuse au moyen de structures capteurs minérales, organiques ou hybrides.
  • Caractérisation de composés organiques volatils (COV de type BTX par exemple).

Domaines d’applications

  • Pollution atmosphérique.
  • Génie biologique.
  • Bioprocédés.
  • Contrôle de procédés industriels.

Secteurs d’activités

  • Environnement.
  • Santé.
  • Sécurité.

Equipements

  • Centrale automatisée de dilutions gazeuses basse concentration, Analyseurs de Gaz, chromatographe en phase gazeuse, spectromètre de masse.
  • Centrale de caractérisation par mesures électriques pour semi-conducteurs et composés III-V (mesure de C/V[T], I/V[T] ; spectroscopie DLTS ; mesures par effet Hall, profil de concentration de porteurs de charge par corrosion humide et mesures capacitives) qui permet d’analyser les phénomènes d’activation électrique de ces matériaux.
  • Systèmes de dépôt de couches minces de matériaux organiques et inorganiques.

Prestations

  • Expérimentation/test :
    • dépôts nanométriques contrôlés ;
    • caractérisations électriques de matériaux.