PLASMAT : Plasma et Matériaux

Eric TOMASELLA
Tél. : 33 (0)4 73 40 73 37
eric.tomasella@univ-bpclermont.fr

Angélique BOUSQUET
Tél. : 33 (0)4 73 40 53 72
angelique.bousquet@univ-bpclermont.fr

Joël CELLIER
Tél. : 33 (0)4 73 40 70 99
joel.cellier@univ-bpclermont.fr

Savoir-Faire

Situé à l’Institut de Chimie de Clermont-Ferrand (ICCF), PlasMat (Plasma et Matériaux) est une plateforme qui a pour vocation l’élaboration et la caractérisation de matériaux sous forme de couches minces (épaisseur d’une centaine de nanomètres) et le traitement de surface par voie plasma.

Domaines d’applications

Les domaines d’applications concernent les revêtements pour l’optique, la mécanique, l’optoélectronique.
Possibilité d’élaborer des matériaux isolants ou conducteurs sur tout type de substrat (polymère, verre, acier, silicium…).

Secteurs d’activités

  • Recherche scientifique.
  • Applications industrielles (optique, mécanique...).
  • Matériaux, couches minces, traitement de surface et plasma.

Equipements

  • Enceinte de pulvérisation cathodique magnétron radiofréquence.
  • Moyen de contrôle in situ : spectrométrie d’émission optique.
  • Caractérisation morphologique et structurale des couches minces : DRX, MEB, profilométrie, analyse spectroscopiques (IRTF, RBS, RAMAN)
  • Caractérisation optiques, mécaniques et électriques : spectroscopie UV-visible, ellipsométrique, nano-indentation, mesures courant-tension et capacité-tension.

Prestations

  • Définition d’un matériau « test » répondant à l’objectif visé du partenaire industriel.
  • Mise en place d’une procédure d’élaboration des couches minces.
  • Définition des moyens de caractérisation.
  • Rapport d’expertise.